信越化學積極投資光掩膜坯料事業(yè)
為了擴大光掩膜坯料事業(yè)，
信越化學工業(yè)株式會社將實施約140億日元的設備投資。
此次投資將分別在武生工廠（福井縣越前市）和直江津工廠（新瀉縣上越市）的舊工廠實施。武生工廠將新建廠房并強化高端ArF產品的生產設備，計劃于2021年4月前竣工。另一方面，直江津工廠將強化作為事業(yè)核心的通用ArF產品的生產設備，計劃在2019年年底前竣工。此次投資將使信越化學光掩膜坯料的生產能力提升30%。隨著半導體元件產量的增加和產品的不斷小型化，無論是通用ArF產品還是高端ArF產品，光掩膜坯料的全球需求都在不斷增長。信越化學將切實把握這些需求，進一步擴大事業(yè)規(guī)模。
【信越化學的光掩膜坯料事業(yè)】
長久以來，信越化學一直致力于研究開發(fā)半導體制造工序中使用的材料，光掩膜坯料便是其中的一種，并于2009年將其商業(yè)化，在直江津工廠正式開始了生產。2016年，武生工廠也開始生產該產品，在切實履行向客戶提供優(yōu)質產品這一企業(yè)責任的同時，通過在兩個生產據(jù)點進行生產力圖達到分散事業(yè)風險的目的。在事業(yè)步入正軌后，信越化學開始推進高端產品的開發(fā)工作以滿足客戶需求。最終，我們成功地開發(fā)出了利用高精度微細加工技術生產的光掩膜坯料。信越化學的這一高端光掩膜坯料被認定為全球標準產品。
【光掩膜坯料】
是半導體制造工序中使用的光掩膜的材料。在硅晶片上繪制電路時，會使用光掩膜版作為電路的原版。
